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VOCs及硅烷類氣體吸附劑
? 適用氣體類型:VOCs及硅烷類
? 目標氣體:SiH4,DCS,TCS, / TEOS, DEZ,PGMEA ,Dioxin等
? 吸收法:常溫化學反應
? 規格:Φ4mm & Φ6mm
? 密度:(0.7-0.9) :1
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